Piattaforma prototipazione

Le attrezzature presenti all’interno della piattaforma prototipazione consentono lo sviluppo di micro e nano strutture attraverso l’utilizzo di tecniche litografiche avanzate che fanno uso di fasci ionici ed elettronici e che permettono l’attacco selettivo di superfici tramite plasmi reattivi. I laboratori sono attrezzati con camere bianche che consentono la fabbricazione di dispositivi e, più in generale, di dimostratori tecnologici con immediato interesse industriale.

Attrezzature disponibili in piattaforma:

Dual Beam Focused Ion Beam

Dual Beam Focused Ion Beam
Versa™ 3D DualBeam™ (FIB/SEM)

The instrument is a Focused Ion Beam (FIB) combined with a Scanning Electron Microscopy (SEM). In a DualBeam, the electron and ion beams intersect at a 52° angle at a coincident point near the sample surface, allowing immediate, high resolution SEM imaging of the FIB-milled surface. Such systems combine the benefits of both the SEM and FIB and provide complementary imaging and beam chemistry capabilities.

 

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