Piattaforma crescita

La crescita di materiali nanostrutturati e la loro interazione con altri sistemi o con l’ambiente circostante sono argomenti cardine per lo sviluppo delle nanoscienze in chiave applicativa. All’interno della piattaforma crescita sono stati progettati e sviluppati sistemi che vanno dalla crescita di film sottili con fasci atomici o molecolari alla fabbricazione di materiali compositi su larga scala. Le attrezzature sono in grado di lavorare in maniera autonoma o in maniera sinergica, grazie anche a laboratori chimici attrezzati che permettono la realizzazione di precursori o la successiva funzionalizzazione del materiale ottenuto.

Attrezzature disponibili in piattaforma:

Molecular Film Deposition

Molecular Film Deposition System
by Organic Spintronics

The apparatus works in UHV environment for ultra-clean deposition processes of molecular systems, having significant volatility at relatively low temperature (i.e., below the molecule decomposition point) by means of dedicated Knudsen cells. Applications are expected in the fields of active organic films and nanostructures, including OLED, OFET, nanoelectronics, nanosensing and energetics.

 

ALD - Sputter

Atomic Layer Deposition combined with Confocal Magnetron Sputter cluster

The system combines two fundamental growth techniques in the field of nanotechnology, allowing the realization of promising innovative structures for applications in many different fields on 4” wafer. Automatic wafer transfer within the whole tool. The ellipsometer can be used in situ to get real-time control of the depositions performed.

Main equipment features:

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